真空度测量范围 | 9.999×10-1~1×10-5 |
离子电流测量范围 | 9.999×10-1~1×10-7 |
测量误差 | ∠10% |
测量分辨率 | 10-5Pa |
允许环境温度 | -20℃~50℃ |
空气湿度 | ≤80%RH |
电源 | AC220V50Hz±10% |
外形尺寸 | 430×300×215(mm) |
高压输出 | 脉冲30kV 15kHz |
重量 | 8kg |
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